将空气或其它含有氧气的气体暴露于高能量环境，如高压电场、UV 辐射，氧分子就会分裂成两个高能氧原子，氧原子再和氧分子碰撞，结果产生臭氧。典型的高电压放电，也就是电晕放电（corona discharge），它所产生出的臭氧浓度比 UV 辐射高数倍以上。因为臭氧性质非常活泼，会衰减成氧气，故它必须在现场制造及使用，市面上也买不到臭氧气体钢瓶。
使用臭氧安全吗？
1997年水品质协会（WQA）出版一本“Ozone for Point-of-Use, Point-of-Entry and Small Water System Water Treatment Applications：A Reference Manual”记载，人类使用臭氧的100 年来，并没有因为臭氧造成的永久性伤害及死亡的案例报导，但是使用臭氧作为空气净化剂，还是需要谨慎处理。职业安全与健康管理处（OSHA），食品及药物管制局（the FDA），环保署（the EPA）对于臭氧的暴露剂量，已建立安全值的规范，应随时注意。
在旅馆客房使用臭氧作为除臭剂，是一个很大的市场，然而产品的使用说明书内，应说明使用臭氧机时，必须没有人或动物在场。
水及废水处理系统应用臭氧时，也可能会产生臭氧尾气排放的问题，至必须在设计时就予以考量。
有关臭氧在空气中的安全浓度如下：
FDA规范室内医疗设备臭氧输出浓度不得高于0.05 ppm。
OSHA规定劳工在作业场所8小时所暴露的平均臭氧浓度不可高于0.10 ppm。
NIOSH建议臭氧的浓度在任何时候都不应超过0.10 ppm。
环保署(EPA)的周界空气品质国家标准规定户外臭氧8小时的平均浓度最大为0.08 ppm。
臭氧比氯及其它化学药剂的优点在哪里？
这要看您是将臭氧用在何处。大致上的优点如下：
1. 臭氧可以杀死的微生物总模拟氯还要多。（特别是抗氯力强的梨型虫胞囊，只有使用臭氧才能杀死）
2. 杀菌速率比氯快，因而可以降低接触时间，减少反应槽体积，增大处理量。
3. 臭氧在完成氧化、消毒后，臭氧会自行还原成氧气。而氯仍会残留于水中，需要后续处理才能消除它。
4. 臭氧不会产生有致癌风险的消毒副产物。而氯消毒会产生氯胺类、三卤甲烷类的消毒副产物。而法规对于自来水、废水的消毒副产物管制将越趋严格，臭氧将会取代大部分的氯。
5. 臭氧无法储存，必须现场制造立刻使用。因此不像氯气有发生运输泄漏的风险，也没有储存问题。
6. 臭氧机只要买一次，就可以持续制造臭氧。而加氯系统，则需要持续购买氯。
